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SIGMAKOKI西格瑪光機
SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺
產品型號:TADC-651S25UUPA
產品品牌:SIGMAKOKI西格瑪光機
產品介紹:
通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅動器來實現20nm以下的精密微調。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。
詳細介紹
SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺 / TADC-651S25UUPA
通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅動器來實現20nm以下的精密微調。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。
無需對手動納米平臺操作箱進行設定即可進行微調??赏瑫r使用旋鈕和微分頭進行微調和粗調,互不影響。
微調需要通過納米平臺手動操作箱(PASC)來進行。手動納米平臺附有一條用于連接納米平臺手動操作箱的2m長電纜。
注意
安裝平臺時,一定要注意不要碰撞微分頭的對側擋板,以防對壓電驅動機構造成破壞。
關掉納米平臺手動操作箱(OASC)電源后,壓電微調位置會發生變化。
臺面尺寸
65×65mm
手動微調*小分辨率(參考值)
20nm以下
微分頭*小讀數
0.01mm
微分頭的安裝位置
側面
扭矩剛度/俯仰
0.3″/N?cm
扭矩剛度/轉動
0.3″/N?cm
導軌形式
TSD導軌
移動精度/直線度
3μm
移動平行度
10μm
行程/周
0.5mm
*大承載力矩/俯仰
4.9N?m
*大承載力矩/偏擺
4.9N?m
*大承載力矩/轉動
4.9N?m
自重
0.36kg
主要材料
鋁合金
粗調行程
±12.5mm
承載能力
49N(5kgf)
微調行程
30μm以上
表面處理
黑色氧化
平行度
30μm
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