※1連接到SHR控制器后,AutoConfig功能自動設定分辨率。 ※2 啟用多點糾錯功能時的數值。 ※3 在微小范圍內進行重復定位精度測量(ISO)所得到的結果。?NFS-UPX系列1nm閉環控制平臺測量步長(間距):5nm