株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計，粗度儀EF800、SE800、3D
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機 SEF580A、EF800. SEF580A-G18D
KOSAKA小壇輪廓儀 EF550A、EF800
KOSAKA小坂臺階儀，膜厚儀，薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測量儀配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置
KOSAKA小坂微細深孔測量裝置ET200A 、ET4000 、ET8000 KOSAKA小坂晶圓檢測裝置
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KOSAKA小坂探針卡檢測設備
KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21 SS-L SS-G41 SS-C SS-R SS-B
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非接觸式測量允許在不損壞樣品的情況下進行測量。 緊湊的光學布置可實現(xiàn)內(nèi)徑的表面紋理測量，這是現(xiàn)有非接觸式探測器難以實現(xiàn)的。
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