帶顯示屏的數字質量流量控制器
MODEL DF-350C SERIES
DF-350系列是一款數字質量流量控制器，以DF-250系列50 SLM以下規格為基準，與DC24V電源兼容。
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50SML以下的規格高速響應（全范圍1秒內）
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10SCCM~50SLM序列
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標準配備通訊功能（RS485）
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支持RoHS.CE規格
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可選擇有無顯示屏
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可選輸入/輸出信號
DF-350C標準規范
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傳感器方式
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熱繞組傳感器
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閥門方式
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比例電磁閥（未通電時關閉）
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目標氣體（* 1）
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N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未記載的氣體換算成N2進行校正）
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流量范圍（* 2）
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10 SCCM~10 SLM
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20~50SLM
（CO2：20~30 SLM）
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控制范圍
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2~100％（F.S.）
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響應速度
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總流量控制范圍 1sec內(wihtin±2％F.S.)
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L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
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精度（* 3）
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±1.0%F.S.
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再現性
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±0.25%F.S.
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動作壓差（* 4）
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50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa）
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100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa）
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*大入口壓力
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500kPa(G)
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耐壓
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980kPa(G)
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He泄漏率（* 5）
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1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下
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溫度
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使用溫度
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5～50℃
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精度保證溫度
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15～35℃
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允許儲存溫度
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-10～60℃
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允許工作濕度
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10～90%RH （無結露）
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氣體接觸材料
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SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、Ni、PTFE、PCTFE、FKM
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電氣連接
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D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2
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流量設定信號
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0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω）
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流量輸出信號
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0~5 VDC（負載電阻：10kΩ以上)or4～20mA（負載電阻:500Ω以下)
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數字通信
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使用RS485旋轉開關或顯示屏設置地址：*多99臺（9600 bps）
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活動輸入
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接點輸入×3個（非絕緣）
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活動輸出
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NPN開路集電極×3個（非絕緣，*大額定值35 V，50 mA）
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所需電源（DC）
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+ 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub）
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接頭（* 6）
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1 / 4F 900（標準），1/4 UJR，Rc1 / 4
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安裝姿勢
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推薦水平方向
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重量（* 9）
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約950g
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約1100g
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