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KOFLOC小島全金屬數字質量流量控制器DF-550C
產品型號：DF-550C樂山
產品品牌：KOFLOC小島
產品介紹：

科賦樂從創業至今已有60 多年的歷史，深入挖掘人類的智慧，不斷深入技術**，尤其在氣體的測量、控制方面贏得社會各界的信賴近年來，又開發出液體測量控制方面的新設備，作為流體（氣體液體）界專家的科賦樂，重視匠人的精神，貼近客戶的需求，以創建豐富的地球環境為目標不斷迎接挑戰。
詳細介紹


全金屬數字質量流量控制器




MODEL DF-550C SERIES


高性能數字MFC“DF-250C系列”的全金屬型號“DF-550C”發布！
金屬密封結構可以測量和控制半導體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。

  • 通過新型螺線管改善響應速度，在所有流量區域實現1秒以內高速響應
  • 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
  • 10SCCM~10SLM序列
  • 可通過2個通信端口進行菊花鏈連接
  • 配備RS-485通訊功能標準
  • 支持RoHS.CE規格





DF-550C標準規范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥（未通電時關閉）
目標氣體（* 1） N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未記載的氣體換算成N2進行校正）
流量范圍（* 2） 10 SCCM~10 SLM
控制范圍 2~100％（F.S.）
響應能力 總流量控制范圍 1sec內（wihtin±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 3） ±1.0%F.S.
再現性 ±0.25%F.S.
工作壓差（* 4） 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
*大入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度 使用溫度 5～50℃
精度保證溫度 15～35℃
允許儲存溫度 -10～60℃
允許環境濕度 10～90%RH （無結露）
氣體接觸材料 SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co
電氣連接 D-sub 9針KFC Standard（依據SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2
流量設定信號 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ）
流量輸出信號 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上）
數字通信 使用RS485旋轉開關設置地址：*多99臺（9600 bps）
所需電源（DC） +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接頭 相當于1/4 VCR
安裝姿勢 推薦水平方向
重量（* 9） 約1100g

（* 1）應為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

（* 2）流量校準單位SCCM和SLM是質量流量在0°C和1個大氣壓狀態下轉換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 3）對于流量范圍（*大滿量程）的精度。

（* 4）工作壓差可能因規格而異。

如果有任何關于KOFLOC小島流量計的疑問，請隨時與我們溝通

我們將盡全力解決您的問題。

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下列型號均有售

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KOFLOC小島流量計 數字質量流量控制器DF350DF300DF550DF200 MODEL DF-250C SERIES