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KOFLOC小島低成本金屬密封質量流量計 MODEL 5410 SERIES
產品型號：MODEL 5410 湖州
產品品牌：KOFLOC小島
產品介紹：

科賦樂從創業至今已有60 多年的歷史，深入挖掘人類的智慧，不斷深入技術**，尤其在氣體的測量、控制方面贏得社會各界的信賴近年來，又開發出液體測量控制方面的新設備，作為流體（氣體液體）界專家的科賦樂，重視匠人的精神，貼近客戶的需求，以創建豐富的地球環境為目標不斷迎接挑戰。
詳細介紹

低成本金屬密封質量流量計

MODEL 5410 SERIES


5410型是一種質量流量計，具有進一步改進的基本性能。
雖然外觀是傳統產品，但傳感器驅動方法已得到改進，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結構具有高氣密性的產品，并增加了切口接頭。

  • 提高每個流量范圍的精度
  • 適用于微流量（選項規格）
  • 由于無焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低
  • 價格便宜

標準規格

流量范圍
（N2轉換20°C / 1 ATM） 		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式 熱繞組傳感器
準確性 ±1％F.S.（20°C）
溫度系數 0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現性 ±0.2%F.S.（20°C）內
可工作壓力 300kPa（G）以下
耐壓 980kPa（G）
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C）
允許環境濕度 10~90%RH（無結露）
氣體接觸材料 車身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
電氣連接 Dsub 9針KFC　標準（符合SEMI標準）
流量設定
輸入信號 		0~5 VDC（*小負載電阻250kΩ以上）
所需電源 +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（車身尺寸） 標準1/4 VCR等效
重量 約800g

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規格。
有關MFC規格，請單獨查詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列







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