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ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計VCT技術
產(chǎn)品型號: VCT技術
產(chǎn)品品牌:ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品介紹:

ULVAC愛發(fā)科面向顯示器、太陽電池、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化學、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學、研究所等,提供真空設備、周邊機器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務等,以及各種器械的進出口業(yè)務。此外,提供各種真空技術相關的研究指導和技術顧問服務。

詳細介紹


華東供應國內(nèi)總代日本直發(fā)原裝進口日本ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計VCT技術   國內(nèi)各區(qū)域均有售 



G-TRAN系列真空計是基于(1)降低設備成本,(2)節(jié)省空間,(3)減少布線的理念開發(fā)的,以實現(xiàn)各種設備的過程控制的集中化和小型化。

它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可根據(jù)應用進行組合。



長處

  • 測量元件與測量電路的集成結構
  • 模擬和設定值輸出
  • 獨立的偽對數(shù)輸出和設定值輸出(顯示單元)
  • 48 x 96mm DIN 標準尺寸(顯示單元)

  • 用于半導體、電子元件等各種制造設備的過程控制
  • 用于窯爐等各種工業(yè)設備的過程控制
  • 用于對具有許多工藝室的各種制造設備進行工藝控制,例如直插式和單晶圓型

規(guī)范

類型 傳感器單元
VCT技術
自適應測量元件 C-21、23、24、25
測量壓力范圍 1.0×10-5 ~ 1.0 帕
測量精度 +100%, -50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1
工作溫度范圍 10 ~ 40°攝氏度
測量值輸出 非線性輸出:DC0V~10V(HV-OFF時為10V)
SETPOINT1/2 調(diào)節(jié)輸出 非線性輸出:DC0~10V
控制輸入信號 高壓開/關
輸出信號 集電極開路,負邏輯
控制輸出信號 放電確認/設定值 1/2
LED指示 電源,高壓,壓力保護,設定值 1/2
權力 DC24V±2V、150mA
輸入/輸出連接器 D-sub - 15 針(M2.6 螺絲)
體重 430g(不含測量元件)
附屬品 1 個 I/O 連接器
快速手冊 1 份

* IO 和模擬 GND 以及電源 GND 不是隔離的。