ULVAC真空計是基于在真空領域的豐富技術和經驗而開發的。 從皮拉尼真空計到電離真空計,再到極高真空計,從大氣壓到極高真空計(10-12我們擁有適用于PA所有領域、條件和應用的真空計產品陣容。
AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。
軟X線、ESDイオン等による殘留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。
型式 | ISX2 |
測定圧力範囲 | 5×10-11~1×10-2 Pa |
測定分解能 | 0.5×10-10 Pa |
表示 | デジタル表示 仮數部3桁 指數部2桁 |
DEGAS | 電子衝撃脫離方式 |
測定値出力 | 各桁仮數部リニア出力:各DC0~10V |
疑似Log出力:DC0~10V 各桁內1Vのリニア出力 | |
セットポイント |
2點 |
使用溫度範囲 | 10~40℃ |
使用濕度範囲 | 15~80%(ただし結露なきこと) |
電源電圧 | AC85~240V |
外形寸法 W×D×H | 240mm×350mm×99mm |
質量 | 5.3kg |
付屬品 | AC100V用(アース付3Pプラグ)電源コード、取扱説明書 |
オプション | 測定子:X-11 |
センサケーブル:5、10、20m | |
BCD出力、RS232C/RS485 |
測定子型式 | X-11 |
エネルギーフィルタ | Bessel-Box型 |
フィラメント | Ir?Y2O3/2本 |
取付フランジ | UFC-070 |
ベーキング可能溫度 | *高300℃(ケーブル取り外し時) |