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博曼Bowman鍍層超大PCB/晶圓測量XRF測厚儀A系
產品型號： A系列
產品品牌：Bowman美國博曼
產品介紹：

美國博曼（Bowman）是高精度臺式鍍層測厚儀供應商，擁有近40年的行業經驗。博曼XRF系統搭載擁有自主知識產權的鍍層檢測技術和先進的軟件系統，可精準高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統可同時測量包含基材在內的五層元素，其中任何兩層元素可以是合金。同時，博曼XRF系統也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統滿足業界對精度，可靠性和易用性的嚴格要求。

詳細介紹


A 系列微型 XRF 專為**測量半導體和微電子領域中*小的 X 射線特征而設計。 它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓，以實現完整的樣品覆蓋和多點可編程自動化。

Bowman 的 A 系列使用多毛細管光學器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM，這是使用 XRF 儀器進行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機用于測量該比例的特征； 它配有一個輔助低放大倍率相機，用于實時查看樣品和鳥瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統讓操作員可以看到整個零件，單擊圖像以使用高倍率攝像頭進行縮放，并**定位要編程和測量的特征。

可編程 XY 平臺在每個方向上移動 23.6 英寸（600 毫米），可以處理
業內*大的樣本。 該平臺的每個軸的精度小于 +/- 1 μm，并且是
用于選擇和測量多個點； Bowman 模式識別軟件和自動對焦
功能也會自動執行此操作。 該系統的內置模式識別可用于查看零件（例如硅晶片）上涂層的形貌。






  

  


產品規格

元素測量范圍： 13號鋁元素 到 92號鈾元素
X射線管： 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選：Cr 或 W
探測器： 優于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器
分析層數
及元素數： 		5 層（4 層 + 基礎），每層 10 個元素。 同時分析多達 25 種元素的成分
濾波器/準直器： 4位置一次濾波器
輸出焦深： 固定為0.08英寸（2.03毫米）
數字脈沖處理： 具有靈活整形時間的 4096 CH 數字多通道分析儀。 自動信號處理，包括死區時間校正和逃逸峰校正
計算機： Intel，CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz)，16GB RAM，Microsoft Windows 10 Prof，64 位
相機： 1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率
視頻放大倍率： 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
電源： 720W，100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
重量： 1000kg（2200磅）
工作環境： 溫度介于68°F（20°C）與77°F（25°C）之間，相對濕度小于98％，無冷凝
可編程XYZ平臺： XYZ行程：600毫米（23.6英寸）x 600毫米（23.6英寸）x 100毫米（3.9英寸）
XY桌面：560mm（22“）x 585mm（23”）
X & Y 軸精度：1um (40u”)
Z軸精度：1um (40u”)
樣品倉尺寸： 高度：100mm（4"），寬度：1400mm（55"），深度：1470mm（58"）
外形尺寸： 高度：1780mm（70"），寬度：1470mm（58"），深度：1575mm（62"）
其他新特征： Z 保護陣列、自動對焦、聚焦激光、圖案識別、Semi S2 S8 兼容就緒

X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器 普通 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無
大窗口硅漂移探測器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個準直器 普通 普通 無 無 無 無 無 無 無
多個準直器 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
毛細管光學結構 無 無 無 可選 即將推出！ 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個固定焦距 普通 普通 無 無 無 普通  普通 普通 普通
可變焦距 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無 無
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通 無 無 無
140X 微型 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
7倍數碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
表格檢視 無 無 無 可選 可選 無 普通 普通 普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 無 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標準XY行程 無 無 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 無 10 × 10" 無 無  10 × 10" 無 無 無
可選的Max XY Travel 無 無 16 × 16" 無 無  16 × 16" 16 × 16" 無 無
平臺精度 無 無 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸（高*寬*深） 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg