M系列 是用于*小特征的高性能電鍍厚度測量的**產(chǎn)品。 M系列中的多毛細管光學(xué)元件比 O系列,將 X 射線束聚焦到 7.5μm FWHM。 為了在該尺度上測量特征,包括具有更高數(shù)碼變焦的 140 倍放大率相機。 隨著放大倍數(shù)的增加,視野變得更加受限,因此**臺相機拍攝要測量的零件的宏觀圖像。 雙攝像頭系統(tǒng)允許操作員查看整個零件,單擊圖像以使用高磁力攝像頭放大,并**定位要測量的特征。
高精度可編程XY平臺可用于選擇和測量多個點; 模式識別軟件也可以自動執(zhí)行該操作。2-D連續(xù)掃描功能可查看硅片等部件表面區(qū)域的涂層形貌。
標(biāo)準(zhǔn)配置包括7.5μm光學(xué)器件和高分辨率SDD檢測器,用于處理更高的計數(shù)率。 可編程XY樣品臺也是標(biāo)準(zhǔn)配置。 光學(xué)系統(tǒng)的焦距很近,因此使用M系列測量的樣品必須平坦。
現(xiàn)在提供擴展階段選項