Mikasa Co.， Ltd. 作為一家對社會有貢獻且值得信賴的公司，開發和銷售半導體制造設備、檢查和測量設備。 通過這一點，我們將努力保護環境和減少環境影響，以成為一家環保型公司為目標，我們將做出以下努力。我們將努力保護地球環境、防止污染和保護環境，并不斷改進我們的環境管理體系。我們將遵守與環境相關的法律法規，以及我們同意的其他要求，以及我們選擇的要求。我們將系統地采取行動，以實現我們的環境目標。 此外，我們將定期審查我們的環境目標。在我們的業務活動中，我們將努力節約資源和能源，減少對環境的影響，并保護環境。為了遵守本環境政策，我們將努力對所有董事和員工進行徹底的教育。我們將在內部和外部披露此環境政策。 

總裁 Yasuhiro Asano 

PCB的常見問題

1.在*大樣品量下，可以使用多厚的基材？
至于厚度，每個型號的*大兼容板尺寸假設為 2 mm 左右。 如需厚度為 2 mm 或更大的電路板，請聯系我們。

2.是否可以將旋涂機應用于硅晶片以外的物體？
我們在玻璃、膠片、鏡頭、光盤等方面都有良好的記錄。

3.關于電路板的定心方法。

由于樣品臺的制造使其與基板的尺寸相同，因此如果外部形狀匹配，則可以對中對于 MS-A100 以外的型號，可選擇對中夾具（對接）。

4.在旋涂過程中，我在繞過電路板背面時遇到問題。 有沒有對策？
它可以通過反沖洗來處理。 雖然它是一個可選機制，但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 請聯系我們了解詳情。

5.可以涂覆水溶性溶劑嗎？
還有與基材的粘附問題，因此請先與我們聯系。

● 準分子處理：這是一種通過去除基板表面的有機物并利用短波長紫外線能量和產生的臭氧對表面進行親水處理來提高玻璃基板表面附著力的處理。

樣品架（卡盤支架）

3.將基板固定在旋涂機的樣品臺（卡盤支架）中的方法是什么？
基本方法是真空吸附。
還有溝式和小孔型吸附法。 我們根據基板的形狀、厚度和薄膜厚度等信息提出建議。
也可以使用機械卡盤方法，但在這種情況下，不能使用真空聯鎖功能。
此外，我們根據您的愿望和應用，提出了一種不吸附中心的外周吸附方法、O 形圈吸附方法等。

基本上，軸由 POM 制成，吸入表面由鋁制成。
此外，還提供 POM 和 Teflon。

對于其他材料 [不銹鋼、PEEK、PVC]，請隨時與我們聯系。

5.旋涂機的卡盤支架是否與所有型號兼容？
主機和樣品架的插入直徑因型號而異。 如果是后繼型號，則兼容。
后續模型如下。
●　1H-D7　?　MS-A100　?　MS-B100
●　1H-DX2　?　MS-A150　?　MS-B150
●　1H-360S　?　MS-A200　?　MS-B200
●　MS-A300　?　MS-B300
●　1H-700C　?　MS-A500

不同材質的樣品臺（卡盤支架）有哪些優缺點？

■ 由鋁制成
優點：由于是金屬，比樹脂更容易加工，并且可以在吸附表面的表面精度（平整度）下進行加工。 此外，由于它是金屬，因此具有出色的耐用性。 它可以以相對較低的成本生產。
缺點：由于其導熱性高，在連續運行的情況下，電機產生的熱量可能會影響薄膜的沉積。 由于比重比 POM 和特氟龍重，因此當比重變大時，會產生加減速性能下降等效果。

■ 由 POM 制成
優點：由于是*接近金屬的樹脂，因此具有良好的可加工性，并且易于達到表面精度（平整度）。 機械抗疲勞性。 由于它是一種接近金屬的樹脂，因此具有出色的耐用性和低導熱性。 它比特氟龍便宜。
缺點： 它不耐丙酮等有機溶劑，易受熱并膨脹。 與特氟龍相比，它的耐化學性較差。

■ 由特氟龍制成
優點：優異的耐化學性和對大多數化學品的抵抗力。 它還具有出色的耐熱性，并且在應用以及不粘和低磨損方面用途廣泛。
缺點：昂貴。 它在機械上很脆，容易受到沖擊。 由于比重大，加減速性能降低。 比鋁重。 與鋁和 POM 相比，它更柔軟，因此在表面精度（平整度）方面較差。

如何為旋涂機選擇樣品架（卡盤支架）的材料

● 熱傳導是一個問題。 （當溶劑高度揮發或受薄膜引起的溫度變化影響時）

安裝旋涂機需要哪些實用程序？
主機和真空泵都需要 100V 和 200V，具體取決于型號。 此外，如果安裝了可選的滴水裝置，則需要干燥空氣和 N2（氮氣）。