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日本kurabo倉紡可見光液體成分濃度計中國代理店
日本kurabo倉紡可見光液體成分濃度計中國代理店

ChemicAlyzer是一種應用光的吸收原理，實現了在線設計連續測量的液體成分用濃度計。作為紅外式液體成分濃度計的先鋒事業開始了的1990年以后，把豐富的經驗技術和技術做為武器，在持續進化的半導體器件的制造過程中，通過“呼應測量需求”支撐著質量和藥液濃度管理。


今后也將靈活應對*先進的工藝和特殊藥液，通過高精度的藥液濃度測定，“與更進一步的測量需求相呼應”，繼續為制造工藝的*優化做出貢獻。




高質量
為每個測量對象選定*合適的波長，每臺裝置制作一條校準線。
提供檢驗考試合格、機差少的穩定產品。

02
高性能
ChemicAlyzer是一種響應性和分辨率都很好的高性能濃度計。
分解激烈的成分的微小的變化也不放過的濃度控制成為可能。

03
高耐久性
為長期的運行成本削減做出貢獻。
10年以上的支持，有使用的實績。
液晶面板制造工序
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基板制造工序
水晶振子制造工序
?抗蝕劑剝離液的濃度管理
?回收藥液的濃度管理
?后工序用藥液的濃度管理
·酸堿類清洗液的濃度管理
·氧化膜·氮化膜蝕刻液的濃度管理
?其他特殊藥液的濃度管理
另外，在電池材料制造工序和日本酒·食醋的發酵度測定等廣泛的業界也被采用。
高性能的測量技術被評價，在國內和東亞，美國有3000臺以上的實際成果！


日本kurabo倉紡可見光液體成分濃度計中國代理店基本仕様

測定方式 近赤外線透過分光方式
*小測定時間 2秒
測定値出力 DC4-20mA
入力信號 トランジスタ電流駆動入力（測定、校正、暖機終了ほか）
出力信號 オープンコレクタ出力（READY、BUSY、裝置異常、測定中、成功、上下限警報ほか）
接液部材質 石英セル仕様：PFA、PTFE、?英（セル）、パーフロ（Ｏリング）
サファイアセル仕様：PFA、PTFE、サファイア（セル）、カルレッツ（O リング）
使用*高圧力 0.2MPa
配管口徑 IN：Φ3 × Φ2 OUT：Φ4 × Φ3(mm）チューブ各1m付屬

日本kurabo倉紡可見光液體成分濃度計中國代理店薬液一覧表

主な用途 成分1 成分2 成分3 備考 通稱 高精度型推奨 要特殊波長対応
半導體 NH3 H2O2 APM、SC1
HF
HF 希薄 DHF ○ ○
H2SO4 H2O2 SPM
HF H2O2 FPM
HF H2O2 希薄 FPM ○ ○
HF HCl ○ ○
HF H2SiF6 ○
HCI H2O2 HPM、SC2 ○
KOH H2O2
NaOH H2O2
H3PO4
HF NH4F ○
HF HNO3 ○
HF H2O2 CH3COOH ◎
液晶 TMAH 現像液
H3PO4 HNO3 CH3COOH エッチング ◎
H2SO4 H2O2 Cu エッチング ◎ ○
H2O アミン 溶剤 レジスト剝離 ◎ ○
その他 IPA
H2O 有機溶剤中微量水分 ○
CH3COOH C2H5OH 食酢 ○
C2H5OH グルコース 日本酒 ○ ○

※光學式を採用しており、光が透過しない不透明な薬液の測定は対応できません。
その他薬液にも対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。